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株式会社希少金属材料研究所の技術力を用いたナノ粒子の紹介

エレクトロクロミック用酸化タングステン膜

エレクトロクロミック用に試作した厚みが0.1μm以下の無色透明の酸化タングステン薄膜の紹介をします。


倍率1万倍でのSEM画像

下図のように非常に緻密にして滑らかな表面膜となっていることが分かる。発生したクラックを中心に焦点を合わせないと全く分からい状態であった。



倍率5万倍でのSEM画像

非常に小さな孔がわずかに観察されるものであった。



倍率5万倍でのSEM画像

焼結時の粒界が観察される。穴のサイズは20nm以下であった。



倍率5万倍でのSEM画像

焼結時の粒界が観察される。穴のサイズは20nm以下であった。膜内部の粒子は成長し、30~60nm程度のものが見られる。



タングステン酸の代表的なナノ粒子

酸化タングステンのナノ粒子のSEM画像

MgF2のナノ粒子のSEM画像